Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
01.10.2025 10:40
AURION cung cấp các hệ thống đa buồng với khả năng xử lý vật liệu nền trong môi trường chân không, được thiết kế theo yêu cầu cụ thể của quý khách. Các cấu hình có sẵn bao gồm buồng khóa tải, buồng chuyển giao và mô-đun quá trình cho các quy trình phún xạ và RIE.
AURION cung cấp hệ thống inline (pass-by) với vận chuyển vật liệu dưới chân không được tùy chỉnh theo nhu cầu của bạn. Các cấu hình có sẵn bao gồm buồng khóa tải, buồng tiền xử lý và buồng phún xạ. Cả bố trí dọc và ngang đều có sẵn.
thể loại
đề nghị
Quốc gia
Germany